潔凈室是指去除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌及其他污染物，并控制室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和分布、噪聲和振動(dòng)等的系統(tǒng)。做某事。不同的房間專門(mén)針對(duì)特定需求而設(shè)計(jì)，例如照明或靜電。也就是說(shuō)，無(wú)論外界空氣條件如何變化，室內(nèi)都能保持原有的潔凈度、溫度、濕度、大氣壓特性。潔凈室的主要作用是控制潔凈室的潔凈度和產(chǎn)品所暴露的氣氛的溫度和濕度，使產(chǎn)品（硅片等）能夠在良好的環(huán)境下制造。這就是所謂的潔凈室。根據(jù)國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)，所謂無(wú)塵，并不是指完全沒(méi)有灰塵，而是指灰塵量保持在極少量。當(dāng)然，符合這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的灰塵比正常的灰塵要小得多，但即使是少量的灰塵也會(huì)對(duì)光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。

粒徑小于0.3微米的顆粒物數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前芯片級(jí)生產(chǎn)加工所采用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)，防塵要求比A級(jí)更高。如此高的標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些更高級(jí)別芯片的生產(chǎn)。 0.5M以下的粉塵顆粒數(shù)嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，業(yè)內(nèi)稱為1K級(jí)。潔凈室可用性分為以下三種可用性狀態(tài)。潔凈室（設(shè)備）已建成并可供使用。包括所有相關(guān)服務(wù)和功能。然而，該設(shè)施中沒(méi)有操作員操作的設(shè)備。靜態(tài)：功能齊全、配置正確、安裝合理、可以使用或按其配置使用，但設(shè)施內(nèi)無(wú)操作人員的潔凈室（設(shè)施）。動(dòng)態(tài)：在正常使用的潔凈室中，服務(wù)功能齊全、設(shè)備齊全、人員配備齊全，可以按要求執(zhí)行正常任務(wù)。潔凈室測(cè)試潔凈室原理單向流（層流） 潔凈室原理在潔凈室中，氣流從送風(fēng)到回風(fēng)的過(guò)程中截面積幾乎沒(méi)有變化。除了進(jìn)風(fēng)口靜壓室和高效過(guò)濾器的均壓作用外，房間整個(gè)橫截面的流速也比較均勻。至少在工作區(qū)域內(nèi)，流線平行于一個(gè)方向，并且不存在渦流。這是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。這里的流線在一個(gè)方向上平行。這意味著時(shí)間平均流線彼此平行并且具有單一方向。單向流潔凈室中的流動(dòng)條件從雷諾數(shù)來(lái)看是湍流的，所以層流潔凈室中所謂的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室這一術(shù)語(yǔ)并不恰當(dāng)，國(guó)外的標(biāo)準(zhǔn)和論文中已經(jīng)指出了這一點(diǎn)。例如，英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)BS-5295將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流顯示在括號(hào)中。原來(lái)的德國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083中使用了“非紊流置換流”這一術(shù)語(yǔ)，注釋中層流的概念僅用于區(qū)分潔凈室中早于層流出現(xiàn)的紊流。被指出有。在當(dāng)時(shí)的**語(yǔ)中，“層流系統(tǒng)”的正確含義不是分層流，而是湍流置換流。本章提到的概念是湍流漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中，這種流動(dòng)條件有時(shí)稱為平行流或單向流。 1977年，我國(guó)在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出在該術(shù)語(yǔ)之后**慣上稱其為“層流”。在單向流潔凈室中，潔凈氣流充滿房間的整個(gè)橫截面，而不是一個(gè)或幾個(gè)，因此這類潔凈室不依賴潔凈氣流的混合和稀釋作用。它去除骯臟的室內(nèi)空氣，但依賴于清潔的空氣流動(dòng)。室內(nèi)污濁空氣全長(zhǎng)排出室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。為此，在前聯(lián)邦德國(guó)，有人將單向潔凈室中的氣流稱為“塞流”或“塞流”，在前蘇聯(lián)則稱為“節(jié)流熊氣流”。 ”。潔凈的空氣就像一個(gè)空氣活塞，沿著房間的“氣缸”向前（向下）推動(dòng)，因此灰塵顆粒只能向前（向下）移動(dòng)，而不能返回。反向氣流可以沿著墻壁和兩個(gè)過(guò)濾器的重疊處發(fā)生。這種氣流將污染物從底部帶到頂部并返回，破壞了上面提到的“活塞流”條件并造成嚴(yán)重?fù)p壞。對(duì)于向外界開(kāi)放的局部?jī)艋�裝置，例如潔凈工作臺(tái)，該氣流與外部污染空氣流相連接。設(shè)計(jì)時(shí)要減少濾框占用的無(wú)效面積，減少空間的墻面。盡可能接近過(guò)濾器的有效風(fēng)截面。

從以上分析可以得出，要保證單向流潔凈室的特性（高潔凈度和快速自潔恢復(fù)能力）有兩個(gè)重要前提：入口潔凈度，流入活塞流及內(nèi)部潔凈度雖然通過(guò)高效過(guò)濾器供應(yīng)空氣的單向流潔凈室的流入不是問(wèn)題，但流入氣流的“堵流”情況需要進(jìn)一步分析。根據(jù)流體力學(xué)原理，傳入的流動(dòng)條件對(duì)未來(lái)的流動(dòng)條件有直接而顯著的影響。如果來(lái)流為紊流，就會(huì)影響單向流動(dòng)特性，如果來(lái)流沒(méi)有充滿流動(dòng)截面，就會(huì)影響是否形成“塞流”以及形成的速度，從而影響流動(dòng)性。一個(gè)元素。因此，在高效過(guò)濾器使用條件下，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“塞流”，而“塞流”的必要條件是來(lái)流充滿過(guò)流斷面。然而，氣流不僅填充管道的一部分，而且從頭到尾完全填充房間的流動(dòng)部分是不切實(shí)際的。最初，人們認(rèn)為這種單向平行氣流會(huì)充滿整個(gè)潔凈室，但這在技術(shù)和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著知識(shí)的發(fā)展，有人指出，這種單向流動(dòng)簡(jiǎn)單地說(shuō)就是所有的空氣在有限的面積內(nèi)沿著平行的流線均勻地流動(dòng)，并且渦流的產(chǎn)生要最小化，相信這是可能的。越多越好。潔凈空氣在整個(gè)空間內(nèi)沿一個(gè)方向流動(dòng)的房間也稱為單向流潔凈室。這意味著整個(gè)房間不需要具有單向平行流線、均勻速度、無(wú)渦流；只需要單向平行流特性來(lái)主導(dǎo)房間即可。例如，水平空間保證了整個(gè)工作區(qū)域的單向流動(dòng)，而這個(gè)房間就是一個(gè)單向移動(dòng)潔凈室。此前出臺(tái)的國(guó)內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和措施中單向流潔凈室所達(dá)到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達(dá)到的潔凈度。因此，密集間隔的流線型擴(kuò)壓器頂部進(jìn)料和全孔板頂部進(jìn)料也被用作實(shí)現(xiàn)垂直單向流動(dòng)的手段。